Sau khi thành lập, phường có 221 ha diện tích tự nhiên và 33.718 người.
Ngày 27 tháng 4 năm 2021, Ủy ban Thường vụ Quốc hội ban hành Nghị quyết số 1263/NQ-UBTVQH14 (nghị quyết có hiệu lực từ ngày 1 tháng 7 năm 2021)[3]. Theo đó, điều chỉnh 10,32 ha diện tích tự nhiên khu vực 8 tổ dân phố Bắc Nghĩa Tân do phường Nghĩa Tân, quận Cầu Giấy quản lý hành chính (bao gồm các tổ dân phố số 25, 26, 27, 28, 29, 30, 31, 32) đang thuộc địa giới hành chính của phường Cổ Nhuế 1 vào phường Nghĩa Tân, quận Cầu Giấy.
Sau khi điều chỉnh địa giới hành chính, phường Cổ Nhuế 1 có diện tích 2,22 km², dân số là 45.274 người.
Chú