Năm Minh Mệnh thứ 12 (1831) đặt thuộc phủ Hoài Đức tỉnh Hà Nội (nay là huyện Từ Liêm thành phố Hà Nội và phần phía nam huyện Hoài Đức, một phần huyện Đan Phượng). Huyện Từ Liêm khi đó gồm 13 tổng[cần dẫn nguồn]:
Tổng Thượng Hội (cấp làng xã gồm: Thượng Hội, Hà Mỗ, Phù Trung, Vĩnh Ký, Thúy Hội (nay thuộc xã Tân Hội, Đan Phượng), Thượng Mỗ),