Khi thành lập tỉnh Bắc Giang vào ngày 10 tháng 10 năm 1895, toàn khu vực này thuộc Bắc Giang trừ các tổng Trù Hựu, Kiên Lao, Hả Hộ và một số vùng thuộc Lục Ngạn nằm trong Đạo quan binh Yên Thế.
Tháng 2 năm 1909, cắt các tổng Biển Động, Niêm Sơn, Mỹ Nương, Kiên Lao, Hả Hộ của huyện Lục Ngạn để thành lập huyện Sơn Động. Cùng thời gian này, cắt hai tổng Trù Hựu, Tam Dị từ huyện Bảo Lộc về Lục Ngạn.
Cắ